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半導(dǎo)體工業(yè)用電解拋光精密無縫管產(chǎn)品質(zhì)量評價審定會在常寶召開
5月22日，由中關(guān)村材料試驗技術(shù)聯(lián)盟（CSTM）組織的“半導(dǎo)體工業(yè)用電解拋光精密無縫管產(chǎn)品質(zhì)量評價項目方案專家審定會”在常寶成功舉行。本次會議匯聚了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游的權(quán)威專家與代表，來自鋼鐵研究總院、CSTM、有研半導(dǎo)體、中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)公司、富珖半導(dǎo)體、撫順特鋼、永興特材、鋼研納克、深圳八六三等單位的二十余位產(chǎn)業(yè)鏈專家及企業(yè)代表參會。
審定會上，CSTM專家組系統(tǒng)介紹了半導(dǎo)體工業(yè)用電解拋光精密無縫管產(chǎn)品質(zhì)量評價方案，與會專家圍繞評價指標體系、試驗方法標準、工藝穩(wěn)定性評價方案等進行深入研討與質(zhì)詢。專家組一致認為，該質(zhì)量評價方案以SEMI F19、SEMI F20等國際先進標準為基礎(chǔ)，結(jié)合產(chǎn)業(yè)鏈實際需求構(gòu)建了完整指標體系，覆蓋管坯控制、熱擠壓、冷軋、冷拔、熱處理、電解拋光、精密清洗等全流程，具有較強的科學(xué)性、系統(tǒng)性和可操作性。經(jīng)審議，同意方案通過審定。
電解拋光精密無縫管（EP管）是半導(dǎo)體制造中氣體輸送、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的關(guān)鍵材料，其質(zhì)量直接影響芯片良率與穩(wěn)定性。本次審定會的成功召開，標志著國內(nèi)半導(dǎo)體用電解拋光精密無縫管質(zhì)量評價工作進入實質(zhì)性實施階段。CSTM將依據(jù)方案開展現(xiàn)場評價、實物抽檢、工藝穩(wěn)定性評價及試驗技術(shù)能力認證等工作，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵材料國產(chǎn)化提供有力支撐。
本次評審會，與會專家實地參觀了常寶特材事業(yè)部，對常寶質(zhì)量管控和試驗技術(shù)能力給予積極評價。目前，常寶特材事業(yè)部已建立從熱擠壓、冷軋、冷拔、光亮熱處理到電解拋光、百級潔凈室的全流程一貫制生產(chǎn)線，成功攻克超純不銹鋼原料制備、大變形量冷加工、超高潔凈度電解拋光等核心技術(shù)。其中潔凈管（BA/EP管）生產(chǎn)線電解拋光車間配備百級潔凈室，產(chǎn)品表面粗糙度、表面化學(xué)、顆粒物控制等關(guān)鍵指標已達行業(yè)先進水平。后續(xù)，常寶將按照行業(yè)評價標準，加快推進常寶半導(dǎo)體工業(yè)用管的產(chǎn)品性能認證評價和客戶認證，著力打造常寶在國產(chǎn)化市場的競爭力。
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